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电子半导体行业废气成分及种类介绍废气处理设备

发布者:admin发布时间:2022-02-21访问量:17

       半导体产业属于电子信息产业和硬件产业。这是一个基于半导体的产业。上游是半导体支持产业,包括半导体材料和半导体设备。根据制造技术,中游分为分立器件和集成电路。在半导体行业中,半导体材料是该行业的支柱产业。半导体材料是一种导电性介于金属和绝缘体之间的材料。半导体材料是制造晶体管、集成电路和光电子器件的重要材料。以下是电子半导体行业废气的内容和类型介绍:


半导体制造过程中产生的废气成分


半导体制造过程中产生的废气类型有:一般废气废气、含有毒物质的废气、有机废气和含酸性/碱性物质的废气。

     对于含有酸性/碱性物质的废气,大多数半导体厂采用大型洗涤中心废气处理系统进行处理。但由于半导体制造区距离中央废气处理系统较远,一些酸碱废气在输送至Z中央废气处理系统前,由于气体特性,往往会在管道中结晶或积尘,导致管道堵塞后发生气体泄漏,甚至引发爆炸,危及现场工作人员的工作安全。


半导体厂产生的废气类型

      在半导体工艺中,需要使用各种特殊气体、大量酸、碱和其他化学品、有机溶剂和挥发性液体。在不同的半导体制造过程中使用这些气体和化学品会产生废气。如果这些废气没有经过废气处理设备的良好处理就排放出去,将会造成严重的问题,不仅会影响人们的健康,恶化大气环境,造成环境污染,而且会成为半导体制造业AMC污染的重要来源。


半导体企业的废气一般分为酸性废气、碱性废气、有机废气、砷废气和一般废气