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半导体废气处理工艺

发布者:admin发布时间:2022-03-15访问量:37

半导体废气处理工艺作为一个高科技产业,半导体产业往往被误解为“清洁”产业,但事实上,在半导体生产过程中使用了大量的有机和无机物质,包括许多有毒有害物质,这对环境造成了更严重的影响。如果废气不受废气处理设备的控制,将产生更大的环境污染。


半导体工艺中VOCs废气的处理

半导体工业中的有机废气主要来自清洁、上浆、脱胶、蚀刻和开发过程。使用的溶剂如清洗剂、显影剂、光刻胶和蚀刻液中含有大量的有机成分,主要包括异丙醇、光刻胶和其他有机物质。在这个过程中,大多数有机溶剂都会挥发成废气。

挥发性有机化合物(VOCs)简称VOCs。由于VOCs具有渗透、脂肪溶解和挥发的功能,对人体有很大的直接影响。人体接触挥发性有机物或通过呼吸进入人体时,可能对人体呼吸道、肺、神经系统和肾脏造成损害。因此,它们必须经过处理才能直接排放到大气中。

100a半导体尾气吸附处理设备

半导体废气处理设备

目前,对于这种气体排放,一般采用吸附、焚烧或两者结合的方式。有机溶剂废气经吸附尾气处理设备就地洗涤器吸附后,进入中央处理系统中央洗涤器进行二次处理后排入大气。

吸附是利用多孔固体吸附剂处理混合气体,使其中的一种或多种组分吸附在固体表面,达到分离的目的。该吸附剂选择性高,可分离其他工艺难以分离的混合物,有效去除(或回收)低浓度有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,可实现自动控制。

吸附式尾气处理设备可处理尾气

以上是半导体废气处理工艺设备局部洗涤器的简要介绍。谢谢你的阅读!