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江苏创清环保工程有限公司

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半导体车间的酸碱性有机废气,如何治理?(一)

发布者:admin发布时间:2022-03-15访问量:39

半导体车间的酸碱性有机废气不仅污染环境,而且对人体造成直接危害,必须经过处理才能排放。我们为半导体行业制定了一套完整的废气处理方案,可操作性强,操作简单,效果达标。它可以处理以下四种废气:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。由于半导体行业有四种不同类型的废气,不同类型的废气适用于不同的净化方案。


    半导体行业酸碱废气处理推荐采用喷淋塔

半导体生产中产生的酸性和碱性废气分别收集和处理,但处理设备和处理原理基本相同。

含酸碱物质的废气大多采用大型洗涤中心废气处理系统处理。然而,在某些情况下,由于半导体制造工区距离中央废气处理系统较远,一些酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统之前,往往会因气体特性在管道中结晶或积聚灰尘,管道堵塞后造成气体泄漏,严重时甚至发生爆炸,危及现场工作人员的安全生产。

因此,工作区需要配备适合工艺气体特性的就地废气处理设备进行就地处理,然后排入中央处理系统。一些特殊废气,包括剧毒、自燃、爆炸等废气,需要通过吸附或氧化/燃烧等方式就地通过干式洗涤器等设备进行处理,然后排入中央废气处理系统。


半导体行业有机废气和有毒气体的处理

目前,国内处理有机废气和有毒气体的技术相似。因此,我们将一起讨论这两种废气处理技术。

目前,半导体生产过程中排放的含有有机成分的废气(VOC)通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。

酸咸废气使用喷淋塔

半导体废也可以用催化燃烧